Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺(tái)MAX603D，納米定位

Thorlabs的NanoMax™ 6軸納米定位撓性位移臺(tái)采用平行的撓性設(shè)計(jì)確保精確平滑的連續(xù)運(yùn)動(dòng)，摩擦幾乎可以忽略。對(duì)于復(fù)雜的多軸定位應(yīng)用，平行撓性位移臺(tái)將三個(gè)以上自由度集成在單個(gè)小型裝置中，明顯比按序堆疊位移臺(tái)的設(shè)計(jì)具有好的性能。非常適合光纖耦合系統(tǒng)，或需要亞微米分辨率的應(yīng)用。

同時(shí)我們提供帶或不帶預(yù)配置壓電驅(qū)動(dòng)器（開環(huán)/閉環(huán)）、差分或步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的版本。位移臺(tái)的標(biāo)稱載物臺(tái)高度為112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度為112.5 mm的5軸位移臺(tái)套件。我們也提供轉(zhuǎn)接板，用于將3軸和4軸撓性位移臺(tái)的載物臺(tái)高度從62.5 mm提升到112.5 mm，從而兼容我們的NanoMax™6軸位移臺(tái)。

我們的6軸NanoMax位移臺(tái)作為功能強(qiáng)大的納米定位工具還有2個(gè)創(chuàng)新點(diǎn)：一是公共旋轉(zhuǎn)支點(diǎn)，二是將所有調(diào)節(jié)器直接耦合到底座的專有設(shè)計(jì)，以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運(yùn)動(dòng)。

公共旋轉(zhuǎn)點(diǎn)

如下圖所示，每個(gè)NanoMax 6軸位移臺(tái)在移動(dòng)平臺(tái)前都有不銹鋼探針，標(biāo)記所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn)。所有旋轉(zhuǎn)軸具有公共支點(diǎn)，可以減少系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)時(shí)間，因?yàn)檫@樣在調(diào)整θx、θy和θz時(shí)不需要補(bǔ)償橫向運(yùn)動(dòng)。如果移動(dòng)平臺(tái)開始平移，支點(diǎn)也會(huì)相對(duì)底座移動(dòng)，保持支點(diǎn)和移動(dòng)平臺(tái)的相對(duì)位置。

可拆下的不銹鋼探針頂部標(biāo)記了所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn)

點(diǎn)P是所有三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸（偏轉(zhuǎn)、俯仰和擺動(dòng)）的公共支點(diǎn)。

精密驅(qū)動(dòng)

NanoMax™6軸位移臺(tái)提供預(yù)配置差分測微頭驅(qū)動(dòng)器或步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的位移臺(tái)，即開即用。NanoMax 6軸位移臺(tái)的模塊化設(shè)計(jì)允許在任何時(shí)候拆卸和更換驅(qū)動(dòng)器。驅(qū)動(dòng)器都直接耦合到底座，以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運(yùn)動(dòng)。這種特性非常適合需要亞微米級(jí)分辨率的應(yīng)用。對(duì)于納米定位應(yīng)用，我們有內(nèi)置壓電驅(qū)動(dòng)器的版本包括開環(huán)和閉環(huán)。

壓電選項(xiàng)

開環(huán)或閉環(huán)的壓電選項(xiàng)讓這些位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的分辨率。內(nèi)置于位移臺(tái)的壓電驅(qū)動(dòng)器具有30 µm的行程，可使用多種開環(huán)或閉環(huán)壓電控制器控制。將這些位移臺(tái)與NanoTrak控制器(K-Cube、臺(tái)式或機(jī)架系統(tǒng)模塊)耦合時(shí)，系統(tǒng)具有強(qiáng)大的自對(duì)準(zhǔn)功能，能夠維持光通量，并消除由于熱漂移或其它外力引起的耦合效率損耗。這些壓電位移臺(tái)包含6根PAA100驅(qū)動(dòng)電纜，在閉環(huán)系統(tǒng)的情況下，包含6根PAA622反饋?zhàn)儞Q器電纜。

具有開環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)器的位移臺(tái)沒有應(yīng)變儀位移傳感器，非常適合需要定位分辨率低至20 nm的應(yīng)用。帶閉環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)器的版本內(nèi)部有應(yīng)變儀位移傳感器，可提供與壓電元件的位移呈線性比例的反饋電壓信號(hào)。這種反饋信號(hào)將分辨率提高到5 nm，可用于補(bǔ)償所有壓電元件中固有的遲滯、蠕變和熱漂移，使這些位移臺(tái)成為需要納米級(jí)分辨率應(yīng)用的好的選擇。

請(qǐng)注意，壓電機(jī)制利用與測微計(jì)驅(qū)動(dòng)器的接觸來移動(dòng)頂部平臺(tái)。不管出于任何原因，如果位移臺(tái)在拆除測微計(jì)驅(qū)動(dòng)器的情況下工作，必須在壓電驅(qū)動(dòng)器運(yùn)行之前安裝盲塞。

配件的簡易對(duì)準(zhǔn)

我們提供多種配件來安裝產(chǎn)品，比如顯微物鏡、準(zhǔn)直器、波導(dǎo)、光纖等更多產(chǎn)品。這些配件可以通過中心鍵槽在6軸位移臺(tái)的頂部平臺(tái)上輕的松實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)。頂部平臺(tái)的中心鍵槽便于快速重新配置系統(tǒng)，同時(shí)還能在整個(gè)實(shí)驗(yàn)中維持配件的對(duì)準(zhǔn)。

Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺(tái)MAX603D，納米定位

產(chǎn)品特性與參數(shù)

        X軸和Z軸：1 N/µm

        Y軸：0.5 N/µm

不帶驅(qū)動(dòng)器

帶步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器

帶差分驅(qū)動(dòng)器