综合精品,亚洲精品免费在线观看,极品粉嫩嫩模大尺度无码视频,亚洲精品自产拍在线观看动漫

如何克服因地面振動(dòng)影響光刻系統(tǒng)的圖案質(zhì)量？

振動(dòng)對(duì)高級(jí)浸沒(méi)式光刻的影響 

沒(méi)有使用STACIS®

在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式

使用STACIS®

STACIS主動(dòng)隔振實(shí)現(xiàn)的模式

        所示的45納米線(xiàn)寬測(cè)試圖形是由Amphibian Systems公司生產(chǎn)的*浸入式光刻系統(tǒng)生產(chǎn)的，安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動(dòng)對(duì)光刻過(guò)程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。

        該工具初安裝在鋼和混凝土基座上，基座采用鋼支撐結(jié)構(gòu)，其中包含商業(yè)彈性體隔振墊。這個(gè)基座沒(méi)有達(dá)到工具要求的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)，模式質(zhì)量很差。

        為了減少振動(dòng)，彈性體墊塊被有效地用金屬墊片短路，從而導(dǎo)致更剛性、非共振結(jié)構(gòu)，但這幾乎沒(méi)有改善。振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)不符合任何版本的基座和模式，質(zhì)量仍然很差。

        基座支撐結(jié)構(gòu)被移除，并安裝了STACIS®主動(dòng)壓電消振系統(tǒng)。STACIS基座被直接放置在現(xiàn)有的底座下面。將工具支撐在STACIS上，顯著降低了整體地震振動(dòng)水平，并達(dá)到了制造商的地面振動(dòng)規(guī)范。更重要的是，STACIS在模式質(zhì)量方面提供了顯著的改進(jìn)。

不同配置的振動(dòng)測(cè)量。工具規(guī)格:0.125 mils /s RMS。垂直軸數(shù)據(jù)顯示。

綠色：彈性體減振

白色：短路彈性體減振

藍(lán)色：STACIS減振        

 *由Sematech提供的照片、圖像和振動(dòng)數(shù)據(jù)。

☆關(guān)于TMC☆

      TMC為納米技術(shù)設(shè)計(jì)和制造*的建筑地面隔振系統(tǒng)。TMC隔離器支持超精密測(cè)量、儀器和制造。我們繼續(xù)領(lǐng)xian于行業(yè)*的主動(dòng)、慣性振動(dòng)消除系統(tǒng)，具有壓電驅(qū)動(dòng)器和數(shù)字控制器。我們的無(wú)源產(chǎn)品范圍從簡(jiǎn)單的、桌面隔離顯微鏡底座，到幾乎任何尺寸的光學(xué)表系統(tǒng)。
      TMC產(chǎn)品讓光子學(xué)、半導(dǎo)體制造、生命科學(xué)、藥物發(fā)現(xiàn)和納米技術(shù)等領(lǐng)域的超精密研究、測(cè)量和制造成為可能。我們的產(chǎn)品是在*的、垂直一體化的制造設(shè)施中設(shè)計(jì)和制造的，并以提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)的客戶(hù)承諾為后盾。
      TMC是阿美特克超精密測(cè)量部門(mén)成員，阿美特克是電子儀器和機(jī)電設(shè)備的突出者，年銷(xiāo)售額約為50億美金。為材料分析、超精密測(cè)量、過(guò)程分析、測(cè)試測(cè)量與通訊、電力系統(tǒng)與儀器、儀表與使用控制、精密運(yùn)動(dòng)控制、電子元器件與封裝、特種金屬產(chǎn)品等領(lǐng)域提供技術(shù)解決方案。

森泉光電為TMC中國(guó)區(qū)總代理。

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

1）  激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

2）  探測(cè)器：光電探測(cè)器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測(cè)器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

3）  定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、多維位移臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、微型操作器等等

4）  光源：半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線(xiàn)寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

5）  光機(jī)械件：用于光路系統(tǒng)搭建的高品質(zhì)無(wú)應(yīng)力光機(jī)械件，如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

6）  光學(xué)平臺(tái)：主動(dòng)隔振平臺(tái)、氣浮隔振臺(tái)、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺(tái)、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

7）  光學(xué)元件：各類(lèi)晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

8） 染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等